單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料

在直拉單晶爐的熱系統中，單晶爐熱場的好壞直接關系到單晶硅的質量，合格的熱場能夠生長出高質量的單晶，因此創造良好的熱場條件，在直拉單晶工藝上有非常重要的意義。而單晶爐中各部分工件使用壽命是整個熱場系統的關鍵。

單晶爐熱場一般包括壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、加熱器、電極、石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤、導流筒、石墨螺栓，爐底、金屬電極、托桿。其中石墨坩堝是單晶熱場系統中的關鍵核心部件，石墨坩堝最主要的兩個作用為支撐作用和熱量傳遞的作用。由于高溫時石英坩堝變軟，石英坩堝外部必然需要高溫狀態下的支撐材料。在加熱過程中，加熱器首先輻射熱量給石墨坩堝，石墨坩堝傳遞熱量進一步加熱石英坩堝，然后再維持石英坩堝內部硅料的狀態，因此通常需要耐高溫1600℃以上。單晶爐用石墨坩堝，主要采用等靜壓高純石墨制成，大多數石墨坩堝使用正常壽命約40-60爐次，硅蒸汽在石墨表層的長期反復滲透沉積容易導致石墨坩堝損壞。

     為了防止這種情況發生，可以選用ZS-1052單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料對石墨坩堝進行表面處理。ZS-1052石墨防氧化劑采用新型化工合成技術——樹脂主鏈熔斷技術，在石墨中滲透性、包裹性好，同時有物理粘附和化學橋聯作用，能和基體形成一體化結構。涂刷后涂料耐溫可以達到1800℃高溫。有效防止硅蒸汽滲透接觸石墨，單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料防止石墨坩堝制品被侵蝕損壞。

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